van Roosbroeck 방정식계의 세 방정식과 각 방정식이 나타내는 물리적 관계를 이해한다.
드리프트 항과 확산 항의 의미, 두 계수를 연결하는 Einstein 관계를 확인한다.
오믹 접촉에서 소수캐리어 밀도를 ni2/N으로 계산하는 이유를 이해한다.
스튜디오는 반도체 소자 물리의 표준 모형인 van Roosbroeck 방정식계를 푼다.
해석 조건은 1차원, 정상상태, 등온이다.
미지수 세 개
소자 두께 방향의 좌표를 x라 할 때, 각 위치에서 다음 세 값을 구한다.
기호
의미
단위
ψ(x)
정전위
V
n(x)
전자 밀도
m⁻³
p(x)
정공 밀도
m⁻³
전위는 캐리어의 이동을 결정하고, 캐리어의 전하 분포는 다시 전위를 결정한다.
세 미지수가 서로 영향을 주므로 연립방정식으로 풀어야 한다.
그림 · van Roosbroeck 방정식계의 결합. 전위 ψ의 기울기로 정해지는 전기장은 캐리어의 이동에 영향을 준다(금색). 캐리어 밀도 n, p는 공간전하 항 p − n + C를 통해 포아송 방정식의 우변에 반영된다(회색 점선). 전자와 정공의 연속 방정식은 재결합-생성 항 R − G로도 연결된다. 따라서 세 방정식을 연립해서 풀어야 한다.
1. Poisson 방정식 — 전하와 전위
∂x∂(ε∂x∂ψ)=−q(p−n+C(x))
ε은 유전율, q는 기본 전하, C(x)=ND−NA는 고정된 순 도핑 농도이다.
이 식은 순전하가 존재하는 곳에서 전기장이 위치에 따라 변함을 나타낸다.
도핑된 층에서 전하가 상쇄되면 전위는 평평하고, 공핍층에서는 남은 전하에 의해
전위가 급격히 변한다. 이 전위 분포가 밴드 다이어그램의 기울기에 반영된다.
2. 연속 방정식 — 캐리어 보존
전자와 정공에 대해 각각 다음 연속 방정식이 성립한다.
q1∂x∂Jn=R−G,−q1∂x∂Jp=R−G
전류의 공간적 변화는 캐리어의 생성과 재결합으로 결정된다. G는 빛에 의한
생성률, R은 재결합률이다.
두 식의 부호가 다른 것은 전자와 정공의 전하 부호가 반대이기 때문이다.
같은 방향으로 이동하더라도 전류에 기여하는 부호는 반대이다.
정상상태이므로 시간 미분은 없다. 따라서 이 방정식계는 미분대수계가 아니라
경계값 문제로 푼다.